1. Actuator 교체 시 해당 PM만 Down 되고 Run 진행 가능 

2. E4 E5 Door Plate 적용으로 Particle 효과 개선

3. 기존 V2 Rocker Valve Housing 사용으로 Retrofit 소요 시간 최소화

  : 교체 시 Undocking 불필요

4. Actuator 를 TM/PM 따로 분리 사용으로 유지 보수 비용 절감

5. 가동률 및 생산성 향상 개선 

6. Air Lock/PM/TM Actuator 동일