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Rocker  Valve (PM)

Rocker Valve (PM)

Maker Fugen
Model Dual L-Motion Valve
OEM P/N
Condition New
Quantity 0 EA
PM/TM Dual Actuator 개별 동작

L-VAT Actuator MTBF 증가

Door Climb”최소화 Particle 개선

2300 “e”Type Door Plate 호환가능

비접점식 Open/Close Sensor
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1. Actuator 교체 시 해당 PM만 Down 되고 Run 진행 가능 

2. E4 E5 Door Plate 적용으로 Particle 효과 개선

3. 기존 V2 Rocker Valve Housing 사용으로 Retrofit 소요 시간 최소화

  : 교체 시 Undocking 불필요

4. Actuator 를 TM/PM 따로 분리 사용으로 유지 보수 비용 절감

5. 가동률 및 생산성 향상 개선 

6. Air Lock/PM/TM Actuator 동일